大行程納米定位平臺采用了最高精度的壓電陶瓷驅動技術和高剛性低成本的設計技術。
特點：
● ESC系列平臺可被用于常溫和大氣壓環境，有些型號還可用于超高真空環境。
● ESC系列平臺采用了十字交叉滾柱導軌結構，其承載能力可高達數公斤，其俯仰，方位和轉動角度偏差小于0.1mrad。
● 同時，其最大行程可達50mm,單步進給量可小至50nm。另外，可選配的用于閉環控制的傳感器的分辨率達1nm。這個系列平臺備有多種形式，尺寸和行程。并可直接互相組合成多軸平臺。
技術規格參數：
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名稱
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X軸平臺
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X軸平臺
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X軸平臺
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擺動平臺
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擺動平臺
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轉動平臺
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轉動平臺
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型號
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ECS3030
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ECS3080
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ECS5050
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ECGt5050
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ECGp5050
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ECR3030
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ECR5050
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閉環控制特性
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分辨率
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1nm
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1nm
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1nm
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0.000001°
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0.000001°
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0.00001°
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－
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重復定位精度
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50nm
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50nm
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50nm
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±0.00005°
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±0.00005°
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±0.0005°
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－
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精度
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＜0.01%
of travel range
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＜0.01%
of travel range
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＜0.01%
of travel range
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≒0.001°
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≒0.001°
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≒0.002°
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－
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開環控制特性
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最小步進量
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50nm
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50nm
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50nm
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0.0001°
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0.0001°
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0.0004°
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0.0002°
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精密定位范圍
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1.6μm
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1.6μm
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1.6μm
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0.0014°
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0.0011°
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0.012°
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0.006°
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行程
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20mm
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50mm
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30mm
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10°
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10°
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360°
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360°
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臺面尺寸〔mm〕
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30×30
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30×80
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50×50
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50×50
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50×50
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30×30
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50×50
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導軌形式
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十字交叉滾柱
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十字交叉滾柱
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十字交叉滾柱
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十字交叉滾柱
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十字交叉滾柱
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球軸承
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球軸承
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自重〔kg〕
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鋁合金型
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0.029
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0.078
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0.070
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0.137
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0.137
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0.28
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0.1
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不銹鋼型
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0.051
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0.147
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0.247
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0.247
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0.247
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0.66
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0.215
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最大速度
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4.5mm/sec
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4.5mm/sec
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4.5mm/sec
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≒1°/sec
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≒1°/sec
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≒10°/sec
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≒5°/sec
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承載能力（水平安裝時）
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9kg
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24kg
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15kg
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1kg
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1kg
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2kg
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2kg
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注：如選購了內置傳感器的型號，可實現閉環控制。下訂單時，請在上面的標準型號末尾加注“/NUM”。
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