采用了獨(dú)特的數(shù)字位移傳感器，實(shí)現(xiàn)了高精度·高剛性·高速度和理論分辨率達(dá)1nm的壓電陶瓷平臺。
特點(diǎn)：
● 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)為壓電陶瓷，位置反饋采用數(shù)字位移傳感器，具有50×50mm開口部的超高精密定位的中空型XY平臺，適用于在顯微鏡下微動(dòng)。
● 推薦使用控制器FINE-503驅(qū)動(dòng)。此控制器具有RS232C，GP-IB，USB接口。選購測量·控制軟件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX等， 可方便地構(gòu)建位置控制系統(tǒng)。
● 是各種顯微鏡，精密測量裝置，半導(dǎo)體檢測裝置，高精度曝光，掃描型干涉儀，圖像處理裝置，或相關(guān)生物用裝置的最佳選擇。
技術(shù)規(guī)格參數(shù)：
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型號
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 SFS-120XY(WA)
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行程
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100μm±10％
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臺面尺寸〔mm〕
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120×120
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驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)
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壓電陶瓷
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自重〔kg〕
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1.2
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理論分辨率（開環(huán)時(shí)）〔nm〕
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1
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分辨率（閉環(huán)時(shí)）〔nm〕
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10
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直線性〔％〕
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－
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垂直度（水平方向）〔μm〕
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1以下
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重復(fù)定位精度〔μm〕
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0.1以下
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承載能力〔N〕
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19.6（2.0kgf）
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微小位移傳感器
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數(shù)字位移傳感器
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適用電纜
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FINE-CA-3：壓電陶瓷用
DS1-CA-3：數(shù)字位移傳感器用
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