驅(qū)動機構為壓電陶瓷，位置反饋采用數(shù)字位移傳感器，可以用于顯微鏡的物鏡驅(qū)動。
特點：
● 尺寸小，可進行高速高分辨率定位。
● 開環(huán)控制時的行程為100μm。
● 考慮到顯微鏡的種類，我們備有2種用于正置型和1種用于倒置型顯微鏡的標準產(chǎn)品。
● 和其它壓電陶瓷平臺類似，可用控制器（FINE-01γ/503(CL)）實現(xiàn)驅(qū)動。它們具有RS232C，
GP-IB（僅FINE-503(CL)），USB接口，配合計量·控制軟件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX，可簡單地構建控制需要的系統(tǒng)。
● 備有多種螺紋適配器，可以安裝不同螺紋尺寸的物鏡。
● SFS-OBL-2是采用了金屬封裝的壓電陶瓷驅(qū)動機構，和SFS-OBL-1相比，具有更好的抵抗?jié)穸拳h(huán)境的性能。
技術規(guī)格參數(shù)：
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型號
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 SFS-OBL-1
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SFS-OBL-2
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SFAI-OBL-1R
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行程
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100μm±15％
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100μm±15％
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100μm±15％
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最大可安裝物鏡直徑〔mm〕
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外徑φ39以下
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外徑φ39以下
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外徑φ39以下
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外形尺寸〔mm〕
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（W）75.5×（H）45×（D）40
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（W）75.5×（H）55×（D）40
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（W）60.8×（H）30×（D）40
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驅(qū)動方式
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壓電陶瓷
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壓電陶瓷
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壓電陶瓷
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自重〔kg〕
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0.15
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0.24
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0.15
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理論分辨率（開環(huán)時）〔nm〕
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1
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1
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約0.8
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分辨率（閉環(huán)時）〔nm〕
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10
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10
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10
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直線度（Xy Xz Yx Yz）〔μm〕
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＜1μm
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＜1μm
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＜0.2μm
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重復定位精度〔μm〕
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＜0.1μm
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＜0.1μm
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＜0.1μm
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承載能力〔N〕
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－
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－
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4.9（0.5kgf）
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微小位移傳感器
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數(shù)字位移傳感器
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數(shù)字位移傳感器
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數(shù)字位移傳感器
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螺紋適配器
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OBL-ADP-＊＊
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OBL-ADP-＊＊
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OBL-ADP3-＊＊
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附屬件
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電纜（2m）
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電纜（2m）
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電纜（2m），專用安裝支柱4個
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物鏡用螺紋適配器：
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