SFS-H 西格瑪精密（壓電陶瓷）平臺(tái)—高速·高剛性型
l SFS-H 系列是在原來(lái)的SFS 系列的基礎(chǔ)上，提高了承載能力和響應(yīng)速度而開發(fā)的壓電陶瓷平臺(tái)。
l 它采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)件，可以實(shí)現(xiàn)開環(huán)控制時(shí)的行程為90μm-100μm，理論分辨率為1nm 的微小移動(dòng)。采用了位移傳感器（頻率-位移轉(zhuǎn)換方式的小位移傳感器），在閉環(huán)控制時(shí)，實(shí)現(xiàn)了10nm 的顯示分辨率。
l 和FINE 系列控制器一起使用，可以實(shí)現(xiàn)優(yōu)于0.5%的直線性和高速化。SFS-H60X、40X 可以實(shí)現(xiàn)往復(fù)運(yùn)動(dòng)的頻率為10-15Hz（全行，閉環(huán)控制時(shí)）。
l 這是一款最適用于需要高速，高精度定位的裝置或?qū)嶒?yàn)用途的平臺(tái)。
注意
· 此平臺(tái)的技術(shù)參數(shù)是指環(huán)境溫度為20 ± 1 ℃時(shí)的值。請(qǐng)?jiān)谑褂弥白屑?xì)閱讀操作說明書和安裝手冊(cè)等資料。
· 技術(shù)指標(biāo)是指單個(gè)平臺(tái)時(shí)的測(cè)量值，而不是和其他零部件組合后的測(cè)量值。
· 技術(shù)指標(biāo)是指在額定載荷，并且是在平臺(tái)中心承載時(shí)的值，而不是指偏載時(shí)的值。
· 精度值是平臺(tái)正常水平安裝使用時(shí)的值，如果您需要倒置或垂直使用，請(qǐng)事先向我們確認(rèn)。
· 精度值是指平臺(tái)臺(tái)面附近的值。
· 行程是指開環(huán)控制時(shí)的值。
· 直線性精度依據(jù)的是西格瑪光機(jī)的測(cè)量法。
· 重復(fù)定位精度是閉環(huán)控制，采樣時(shí)間為350μs 時(shí)的值。
分辯率是使用FINE-01 或503 時(shí)的值。
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