美國Minus K公司的精密隔震平臺 SM-1負剛度高精密隔振臺是FP-1地面高精密隔振平臺和其它多鐘重型隔離系統的基本構件,它們都不需要空氣動力和電力。SM-1高精密隔振臺有著我們所有的負剛度精密隔振平臺相同的基本特征,對數千乃至上萬磅的負載,均提供極低頻率的隔離性能。SM-1高精密隔振平臺既可單獨使用,也可把多個SM-1組合在一起使用,能夠負載10000磅,并達到更高負載的高精密隔振平臺系統。這樣的系統可以被做成許多幾何構型,適合不同的應用。如果需要,這些精密隔離平臺均可定制,以滿足用戶的特殊需求,比如:大型儀器高精密振動隔離平臺、不同的水平和垂直頻率、阻尼等。這些隔振系列也可用于潔凈室且真空相容。
SM-1負剛度高精密隔振平臺也可放在底座上增加隔振系統的高度。
特點:
∙ 承載重量:4000磅
∙ 隔離效果比高性能空氣平臺系統高出10-100倍
∙ 無需空氣動力和電力
∙ 使用方便
∙ 無磨損
∙ 無需維修
性能:
∙ 在整個負載范圍達到0.5 Hz或更低的垂直固有頻率。
∙ 水平固有頻率取決于負載。在標稱負載或接近標稱負載,可達到0.5 Hz或更低的固有頻率。
應用:
SPM、AFM、SEM、TEM、STM(掃描隧道顯微鏡)、、NSOM(近場掃描光學顯微鏡系統)、STEM(掃描透射電鏡)、光學干涉儀、光學輪廓儀、共聚焦激光掃描顯微鏡、晶片測試、傳感器標定、半導體加工,微電子學和MEMS制備、電信,航空航天工程、細胞注射、膜片鉗、微操縱器、 生物學和神經系統科學、 生理學和生物物理及醫學研究領域的敏感設備、顯微硬度測試儀,納米硬度計壓頭產品、納米壓痕,音頻復制等方面。
規格參數:
重量: 約155 lb (70.3 kg)
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尺寸: 13" 寬 x 13" 深 x 20.5" 高 (330mm寬 x 330mm深 x 521mm高)
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近似負載范圍:
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型號
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負載范圍
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700SM-1
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110 - 750 lb (50 - 340 kg)
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1200SM-1
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675 - 1330 lb (315 - 603 kg)
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1500SM-1
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800 - 1550 lb (363 - 703 kg)
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1900SM-1
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1200 - 1950 lb (544 - 885 kg)
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2400SM-1
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1800 - 2500 lb (817 - 1134 kg)
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2900SM-1
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2400 - 3000 lb (1089 - 1361 kg)
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3400SM-1
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2800 - 3600 lb (1270 - 1633 kg)
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4000SM-1
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3400 - 4200 lb (1542 - 1905 kg)
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注:可定制用戶所需的負載范圍
SM-1高精密隔振平臺應用案例:
利用SM-1高精密隔振平臺可以設計大承重負載的隔振系統,比如:10,000磅和 25,000磅的高精密隔振系統。
下面給出的是Minus K為NASA太空望遠鏡地面測試系統設計制造的負載10,000磅的高精密隔振系統,尺寸為20”寬 x 20”深 x 22”高(508mm寬 x 508mm深 x 559mm高)。
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