VUVaS 2000 雙光束真空紫外光譜儀是McPherson 公司推出的世界領(lǐng)先的檢測(cè)不同種類的材料在真空紫外波段（115-380nm 波長(zhǎng)范圍)的吸收譜、透射譜和反射譜的檢測(cè)儀器。可以根據(jù)用戶的要求定制不同規(guī)格的樣品室和樣品架，測(cè)量不同大小、不同厚度的樣品，并可進(jìn)一步選擇偏振和熒光發(fā)射測(cè)量，為不同材料在真空紫外波段的研究與應(yīng)用提供最先進(jìn)的測(cè)試手段。由于VUVaS 2000 型真空紫外光譜儀采用的是真空斬波和鎖相放大技術(shù)從而極大地提高了信號(hào)檢測(cè)的靈敏度和信躁比，是目前在這個(gè)波段開展上述弱信號(hào)測(cè)量國際最領(lǐng)先的儀器產(chǎn)品。
【參數(shù)表】
1. 光學(xué)特征
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光度精確度
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（157nm處）≤0.05%T(RSD)
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光度準(zhǔn)確度
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(115nm-380nm) ≤0.3%T(RSD) 標(biāo)準(zhǔn)0.2%T（RSD）
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光學(xué)穩(wěn)定性
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0.5%T/小時(shí)
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光學(xué)噪聲
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優(yōu)于0.17%T
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2．光譜特征
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波長(zhǎng)范圍
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氘燈連續(xù)光源提供波長(zhǎng)115nm-380nm
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單色儀
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McPherson公司改進(jìn)的Seya-Namioka Model 234/302單色儀
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光柵
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III型鍍MgF2 的凹面全息光柵，1200刻線/毫米
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相對(duì)孔徑
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f/4.5
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波長(zhǎng)準(zhǔn)確度
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0.1nm
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波長(zhǎng)重復(fù)性
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±0.03nm
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分辨率
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0.01mm狹縫分辨率為0.1nm
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帶通
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帶通寬度隨狹縫寬度改變從0.1nm-10nm可調(diào)
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3．樣品測(cè)量
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光束
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校準(zhǔn)/可變
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斬波器
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反射型斬波器（標(biāo)準(zhǔn)工作頻率為90Hz）
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探測(cè)器
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R268型光電倍增管
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測(cè)量方式
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透射譜（吸收譜）、反射譜、散射譜、激發(fā)譜
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探測(cè)器位置
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相對(duì)于發(fā)射光束成20°-180°角
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樣品位置
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相對(duì)于發(fā)射光束成0°-90°角
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樣品架尺寸
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可容納1英寸直徑或2x2英寸或2英寸直徑的樣品（根據(jù)要求訂制）
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濾光片
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5個(gè)可放25mm直徑濾光片的位置
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配件
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225nm長(zhǎng)通濾光片用于230nm-380nm的光譜范圍
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4.真空系統(tǒng)
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真空泵
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兩個(gè)渦輪分子泵，閘式閥門控制凈化樣品區(qū)域
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真空范圍
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典型工作壓力為10-5torr,樣品區(qū)可被單獨(dú)凈化
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5．控制系統(tǒng)
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控制器
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LabView windows軟件用于波長(zhǎng)控制和信號(hào)恢復(fù)，圖形式/數(shù)字式輸出反射譜及透射譜信號(hào)
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輸入電壓
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220 V / 15 安培 / 50 Hz
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工作環(huán)境
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一般實(shí)驗(yàn)室環(huán)境
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