PlasCalc 等離子體監測控制儀
PlasCalc 等離子體監測控制儀，實現200nm-1100nm波段內的等離子體測量，通過高級過程控制系統及精密數據存取算法，只需3m就可以獲得測量結果。
特點
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光學分辨率1.0nm(FWHM)
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光譜范圍 200-1100nm
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快速的建模及存儲實驗方法
Recipe編輯器
Recipe編輯器有助于簡單快捷的配置、構建及存儲實驗方法。對一些困難的等離子體工序諸如膜沉積測量、等離子體蝕刻監測、表面潔度監測、等離子體室控制及異常污染、排放監測等，能夠快速簡單的構建模塊過程控制。
多種工具用于等離子體診斷
隨PlasCalc配置的操作軟件，集成的程式編輯器能夠容易實現多種數學算法功能。可選的波長發生器（可以單獨購買）用于類型確認，而波長編輯器可以用于優化信噪比。雙窗口界面用于顯示實際光譜及所有過程控制信息。
PlasCalc 配置說明
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光譜范圍:
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200-1100 nm
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光學分辨率:
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1.0 nm (FWHM)
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D/A 轉換:
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14 bit
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數字I/O:
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8 x TTL
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模擬輸出:
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4 x [0-10V]
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接口:
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USB 1.1
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功耗:
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12 VDC @ 1.25 A
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電源:
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90-240 VAC 50/60 Hz
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尺寸:
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257 mm x 152 mm x 263 mm
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重量:
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5 kg
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