SpecEl 橢偏儀
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SpecEl-2000-VIS橢偏儀通過測量基底反射的偏振光，進(jìn)而測量薄膜厚度及材料不同波長處的折射率。SpecEl通過PC控制來實現(xiàn)折射率，吸光率及膜厚的測量。 |
集成的精確測量系統(tǒng)
SpecEl由一個集成的光源，一個光譜儀及兩個成70°的偏光器構(gòu)成，并配有一個32位操作系統(tǒng)的PC.該橢偏儀可測量0.1nm-5um厚的單膜，并且折射率測量可達(dá)0.005%。
SpecEl可通過電話問價。
SpecEl軟件及Recipe配置文件
通過SpecEI軟件，你可以配置及存貯實驗設(shè)計方法實現(xiàn)一鍵分析，所有的配置會被存入recipe文件中。創(chuàng)建recipe后，你可以選擇不同的recipe來執(zhí)行你的實驗。
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SpecEI軟件截圖顯示的Psi及Delta值可以用來計算厚度，折射率及吸光率。
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配置說明
| 波長范圍: |
380-780 nm (標(biāo)準(zhǔn)) 或450-900 nm (可選) |
| 光學(xué)分辨率: |
4.0 nm FWHM |
| 測量精度: |
厚度0.1 nm ; 折射率 0.005% |
| 入射角: |
70° |
| 膜厚: |
單透明膜1-5000 nm |
| 光點尺寸: |
2 mm x 4 mm (標(biāo)準(zhǔn)) 或 200 μm x 400 μm (可選) |
| 采樣時間: |
3-15s (最小) |
| 動態(tài)記錄: |
3 seconds |
| 機(jī)械公差 (height): |
+/- 1.5 mm, 角度 +/- 1.0° |
| 膜層數(shù): |
至多32層 |
| 參考: |
不用 |
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