NanoCalc 薄膜反射測量系統
薄膜的光學特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射測量系統可以用來進行10nm~250μm的膜厚分析測量，對單層膜的分辨率為0.1nm。根據測量軟件的不同，可以分析單層或多層膜厚。
產品特點
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可分析單層或多層薄膜
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分辨率達0.1nm
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適合于在線監測
操作理論
最常用的兩種測量薄膜的特性的方法為光學反射和投射測量、橢圓光度法測量。NanoCalc利用反射原理進行膜厚測量。
查找n和k值
可以進行多達三層的薄膜測量，薄膜和基體測量可以是金屬、電介質、無定形材料或硅晶等。NanoCalc軟件包含了大多數材料的n和k值數據庫，用戶也可以自己添加和編輯。
應用
NanoCalc薄膜反射材料系統適合于在線膜厚和去除率測量，包括氧化層、中氮化硅薄膜、感光膠片及其它類型的薄膜。NanoCalc也可測量在鋼、鋁、銅、陶瓷、塑料等物質上的抗反射涂層、抗磨涂層等。
NanoCalc系統
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NC-UV-VIS-NIR
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重量：
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250-1100 nm
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厚度：
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10 nm-70 μm
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光源：
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氘鹵燈
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NC-UV-VIS
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重量：
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250-850 nm
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厚度：
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10 nm-20 μm
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光源：
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氘鹵燈
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NC-VIS-NIR
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重量：
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400-1100 nm
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厚度：
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20nm-100μm (可選1μm-250μm)
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光源：
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鹵燈
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NC-VIS
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重量：
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400-850 nm
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厚度：
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50 nm-20μm
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光源：
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鹵燈
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NC-NIR
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重量：
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650-1100 nm
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厚度：
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70 nm-70μm
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光源：
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鹵燈
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NC-NIR-HR
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重量：
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650-1100nm
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厚度：
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70 nm-70μm
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光源：
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鹵燈
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NC-512-NIR
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重量：
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900-1700 nm
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厚度：
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50 nm-200μm
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光源：
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高亮度鹵燈
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NanoCalc規格
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入射角：
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90°
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層數：
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3層以下
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需要進行參考值測量：
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是
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透明材料：
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是
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傳輸模式：
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是
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粗糙材料：
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是
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測量速度：
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100ms - 1s
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在線監測：
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可以
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公差（高度）：
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參考值測量或準直(74-UV)
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公差（角度）：
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參考值測量
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微黑子選項：
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配顯微鏡
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顯示選項：
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配顯微鏡
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定位選項：
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6"和12" XYZ 定位臺
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真空：
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可以
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