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設計

車爾尼一特納光學配置（單/雙通過）

輸入焦距

914mm（單通）

輸出焦距

1000mm（單通）

孔徑

f/7.4（110mm^2光柵）

f/9.7（84mm^2光柵

f/13（64mm^2光柵）

光柵

84 × 84毫米，9490 102 × 102毫米的9490F

直紋或全息

標準：對運動單光柵安裝

可選：4光柵炮塔

光學分辨率

0.034nm與600l/ mm光柵

0.017nm與1200l/ mm光柵

0.006nm與3600l/ mm光柵

掃描分辨率

單通道：0.83nm/ mm雙密碼：0.42nm/毫米

波長精度

± 0.03nm

波長重復性

± 0.01nm

平場角

0.5o 

狹縫

4mm-40mm(高)

10μm-6.5mm(寬)

光學平面中心高度

200.5mm

尺寸

112 x 56 x 36 cm (44" x 22" x 14")

重量

115kg