采用了獨特的數字位移傳感器，實現了高精度·高剛性·高速度和理論分辨率達1nm的壓電陶瓷平臺。
特點：
● 驅動機構為壓電陶瓷，位置反饋采用數字位移傳感器，具有50×50mm開口部的超高精密定位的中空型XY平臺，適用于在顯微鏡下微動。
● 推薦使用控制器FINE-503驅動。此控制器具有RS232C，GP-IB，USB接口。選購測量·控制軟件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX等， 可方便地構建位置控制系統。
● 是各種顯微鏡，精密測量裝置，半導體檢測裝置，高精度曝光，掃描型干涉儀，圖像處理裝置，或相關生物用裝置的最佳選擇。
技術規格參數：
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型號
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 SFS-120XY(WA)
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行程
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100μm±10％
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臺面尺寸〔mm〕
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120×120
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驅動機構
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壓電陶瓷
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自重〔kg〕
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1.2
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理論分辨率（開環時）〔nm〕
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1
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分辨率（閉環時）〔nm〕
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10
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直線性〔％〕
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－
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垂直度（水平方向）〔μm〕
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1以下
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重復定位精度〔μm〕
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0.1以下
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承載能力〔N〕
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19.6（2.0kgf）
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微小位移傳感器
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數字位移傳感器
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適用電纜
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FINE-CA-3：壓電陶瓷用
DS1-CA-3：數字位移傳感器用
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