采用了獨特的數字位移傳感器，實現了高精度·高剛性·高速度和理論分辨率達1nm的壓電陶瓷平臺。
特點：
● 采用了獨特的數字位移傳感器，可實現高精度·高剛性·高速度的壓電陶瓷平臺。
● 采用壓電陶瓷作為驅動機構，開環控制時的行程為90μm〜100μm，理論分辨率達1nm。
● 位置檢測采用了數字位移傳感器（頻率→數字變換方式的微小位移傳感器），閉環控制時的顯示分辨率為10nm。
● 使用FINE系列控制器，可實現高速定位。
● 重復驅動SFS-H（直動）系列平臺，可達10〜15Hz的頻率。若使用FINE-01γ的模擬信號驅動時，可達25Hz。
技術參數：
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型號
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 SFS-H40X(CL)
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 SFS-H40Z(CL)
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 SFS-H60X(CL)
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SFS-H60XY(CL)
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行程
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90μm±15％
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100μm±15％
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100μm±15％
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100μm±15％
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臺面尺寸〔mm〕
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40×40
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40×40
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60×60
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60×60
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驅動機構
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壓電陶瓷
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壓電陶瓷
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壓電陶瓷
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壓電陶瓷
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自重〔kg〕
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0.28
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0.28
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0.4
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0.43
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理論分辨率（開環時）〔nm〕
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1
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1
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1
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1
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分辨率（閉環時）〔nm〕
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10
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10
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10
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10
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直線性〔％〕
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0.3以下
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0.3以下
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0.3以下
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0.3以下
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垂直度（水平方向）〔μm〕
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1
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1
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1
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1
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重復定位精度〔μm〕
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0.1以下
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0.1以下
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0.1以下
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0.1以下
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承載能力〔N〕
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9.8（1.0kgf）
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6.7（0.7kgf）
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19.6（2.0kgf）
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14.7（1.5kgf）
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微小位移傳感器
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數字位移傳感器
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數字位移傳感器
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數字位移傳感器
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數字位移傳感器
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適用電纜
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電纜（2m）附屬
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電纜（2m）附屬
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FINE-CA-3：壓電陶瓷平臺用
DS1-CA-3：數字位移傳感器用
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FINE-CA-3：壓電陶瓷平臺用
DS1-CA-3：數字位移傳感器用
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SFS-H60XYZ(CL) 和SFS-H60Z(CL)精密壓電陶瓷平臺技術參數：
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行程
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100μm±15％
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100μm±15％
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臺面尺寸
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60×60mm
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60×60mm
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驅動機構
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壓電陶瓷
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壓電陶瓷
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自重
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0.63kg
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0.33kg
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理論分辨率（開環時）
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1nm
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1nm
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分辨率（閉環時）
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10nm
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10nm
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直線性誤差
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＜0.5％
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＜0.3％
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垂直度（水平方向）
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1μm
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1μm
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重復定位精度
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＜0.15μm
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＜0.1μm
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承載能力
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9.8N（1.0kgf）
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9.8N（1.0kgf）
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微小位移傳感器
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數字位移傳感器
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數字位移傳感器
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適用電纜
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FINE-CA-3：壓電陶瓷平臺用
DS1-CA-3：數字位移傳感器用
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FINE-CA-3：壓電陶瓷平臺用
DS1-CA-3：數字位移傳感器用
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