美國(guó)Minus K公司的精密隔震平臺(tái) SM-1負(fù)剛度高精密隔振臺(tái)是FP-1地面高精密隔振平臺(tái)和其它多鐘重型隔離系統(tǒng)的基本構(gòu)件，它們都不需要空氣動(dòng)力和電力。SM-1高精密隔振臺(tái)有著我們所有的負(fù)剛度精密隔振平臺(tái)相同的基本特征，對(duì)數(shù)千乃至上萬(wàn)磅的負(fù)載，均提供極低頻率的隔離性能。SM-1高精密隔振平臺(tái)既可單獨(dú)使用，也可把多個(gè)SM-1組合在一起使用，能夠負(fù)載10000磅，并達(dá)到更高負(fù)載的高精密隔振平臺(tái)系統(tǒng)。這樣的系統(tǒng)可以被做成許多幾何構(gòu)型，適合不同的應(yīng)用。如果需要，這些精密隔離平臺(tái)均可定制，以滿足用戶的特殊需求，比如：大型儀器高精密振動(dòng)隔離平臺(tái)、不同的水平和垂直頻率、阻尼等。這些隔振系列也可用于潔凈室且真空相容。
SM-1負(fù)剛度高精密隔振平臺(tái)也可放在底座上增加隔振系統(tǒng)的高度。
特點(diǎn)：
∙ 承載重量：4000磅
∙ 隔離效果比高性能空氣平臺(tái)系統(tǒng)高出10-100倍
∙ 無(wú)需空氣動(dòng)力和電力
∙ 使用方便
∙ 無(wú)磨損
∙ 無(wú)需維修
性能：
∙ 在整個(gè)負(fù)載范圍達(dá)到0.5 Hz或更低的垂直固有頻率。
∙ 水平固有頻率取決于負(fù)載。在標(biāo)稱負(fù)載或接近標(biāo)稱負(fù)載，可達(dá)到0.5 Hz或更低的固有頻率。
應(yīng)用：
SPM、AFM、SEM、TEM、STM(掃描隧道顯微鏡)、、NSOM(近場(chǎng)掃描光學(xué)顯微鏡系統(tǒng))、STEM(掃描透射電鏡)、光學(xué)干涉儀、光學(xué)輪廓儀、共聚焦激光掃描顯微鏡、晶片測(cè)試、傳感器標(biāo)定、半導(dǎo)體加工，微電子學(xué)和MEMS制備、電信，航空航天工程、細(xì)胞注射、膜片鉗、微操縱器、 生物學(xué)和神經(jīng)系統(tǒng)科學(xué)、 生理學(xué)和生物物理及醫(yī)學(xué)研究領(lǐng)域的敏感設(shè)備、顯微硬度測(cè)試儀，納米硬度計(jì)壓頭產(chǎn)品、納米壓痕，音頻復(fù)制等方面。
規(guī)格參數(shù)：
|
重量: 約155 lb (70.3 kg)
|
|
尺寸: 13" 寬 x 13" 深 x 20.5" 高 (330mm寬 x 330mm深 x 521mm高)
|
|
近似負(fù)載范圍:
|
|
型號(hào)
|
負(fù)載范圍
|
|
700SM-1
|
110 - 750 lb (50 - 340 kg)
|
|
1200SM-1
|
675 - 1330 lb (315 - 603 kg)
|
|
1500SM-1
|
800 - 1550 lb (363 - 703 kg)
|
|
1900SM-1
|
1200 - 1950 lb (544 - 885 kg)
|
|
2400SM-1
|
1800 - 2500 lb (817 - 1134 kg)
|
|
2900SM-1
|
2400 - 3000 lb (1089 - 1361 kg)
|
|
3400SM-1
|
2800 - 3600 lb (1270 - 1633 kg)
|
|
4000SM-1
|
3400 - 4200 lb (1542 - 1905 kg)
|
注：可定制用戶所需的負(fù)載范圍
SM-1高精密隔振平臺(tái)應(yīng)用案例：
利用SM-1高精密隔振平臺(tái)可以設(shè)計(jì)大承重負(fù)載的隔振系統(tǒng)，比如：10,000磅和 25,000磅的高精密隔振系統(tǒng)。
下面給出的是Minus K為NASA太空望遠(yuǎn)鏡地面測(cè)試系統(tǒng)設(shè)計(jì)制造的負(fù)載10,000磅的高精密隔振系統(tǒng)，尺寸為20”寬 x 20”深 x 22”高(508mm寬 x 508mm深 x 559mm高)。
|
