BM-4精密隔振平臺是美國Minus K公司的負剛度振動隔離專利技術產品。這款高性價比的精密隔振平臺可達到0.5Hz的垂直固有頻率和水平固有頻率,并可用于潔凈室且真空相容。
特點:
∙ 隔離效果比高性能空氣平臺系統高出10-100倍
∙ 無需空氣動力和電力
∙ 使用方便
∙ 無磨損
∙ 無需維修
性能:
∙ 在整個負載范圍內均能達到0.5 Hz或更低的垂直固有頻率。
∙ 水平固有頻率取決于負載。在標稱負載或接近標稱負載,可達到0.5 Hz或更低。
應用:
SPM、AFM、SEM、TEM、STM(掃描隧道顯微鏡)、、NSOM(近場掃描光學顯微鏡系統)、STEM(掃描透射電鏡)、光學干涉儀、光學輪廓儀、共聚焦激光掃描顯微鏡、晶片測試、傳感器標定、半導體加工,微電子學和MEMS制備、電信,航空航天工程、細胞注射、膜片鉗、微操縱器、 生物學和神經系統科學、 生理學和生物物理及醫學研究領域的敏感設備、顯微硬度測試儀,納米硬度計壓頭產品、納米壓痕,音頻復制等方面。
規格參數:
重量:約60磅(27kg)
|
尺寸:16.8" 寬 x 16.8" 深 x 8.5" 高 (427mm寬 x 427mm深 x 216mm高)
|
近似負載重量范圍:
|
型號
|
負載范圍
|
25BM-4
|
0 - 25 lb (0 - 11 kg)
|
50BM-4
|
20 - 55 lb (9 - 25 kg)
|
100BM-4
|
50 - 105 lb (23 - 48 kg)
|
150BM-4
|
90 - 155 lb (41 - 70 kg)
|
200BM-4
|
145 - 205 lb (63 - 93 kg)
|
注:可定制用戶所需的負載范圍
BM-4高精密隔振平臺應用案例:
|