美國Minus K公司的負剛度振動隔離專利技術制造的BM-10精密隔振平臺比高性能的氣動平臺好10-100倍,平臺自身的封裝高度只有117毫米、寬和深分別為310毫米,不需要任何空氣動力和電力!BM-10高精密隔振平臺使用非常方便,性能極佳。BM-10高精密隔振平臺具有1.5Hz水平固有頻率和這個公司具有鮮明特征的0.5Hz垂直固有頻率。該高精密隔振平臺只有兩個調節鈕。BM-10高精密隔振平臺對新一代小型掃描探針顯微鏡(SPM)是非常完美的,SPM要求在很緊湊的系統有最高的性能。這是一款最薄、占用空間最小、最輕便、用戶最友好的精密隔振平臺,并可用于潔凈室且真空相容。
特點:
∙ 隔離效果比高性能空氣平臺系統高出10-100倍
∙ 無需空氣動力和電力
∙ 使用極方便
∙ 無磨損
∙ 無需維修
性能:
∙ 水平頻率取決于負載。
∙ 在負載范圍的上限,水平頻率為1.5Hz。
∙ 在負載范圍的下限,水平頻率約2.5Hz。
∙ 在整個負載范圍,垂直頻率可調到0.5Hz。
應用:
SPM、AFM、SEM、TEM、STM(掃描隧道顯微鏡)、NSOM(近場掃描光學顯微鏡系統)、STEM(掃描透射電鏡)、光學干涉儀、光學輪廓儀、共聚焦激光掃描顯微鏡、晶片測試、傳感器標定、半導體加工,微電子學和MEMS制備、電信,航空航天工程、細胞注射、膜片鉗、微操縱器、 生物學和神經系統科學、 生理學和生物物理及醫學研究領域的敏感設備、顯微硬度測試儀,納米硬度計壓頭產品、納米壓痕,音頻復制等方面。
規格參數:
重量: 約35 lb (16 kg)
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尺寸:12.2”寬 x 12.2”深 x 4.6”高 (310mm寬 x 310mm深 x 117mm高)
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近似負載重量范圍:
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型號
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負載范圍
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10BM-10
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0 - 10 lb (0 - 4.5 kg)
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25BM-10
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10 - 30 lb (4.5 - 14 kg)
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50BM-10
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30 - 55 lb (14 - 25 kg)
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75BM-10
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50 - 80 lb (22.5 - 36 kg)
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100BM-10
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75 - 110 lb (34 - 50 kg)
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注:可定制用戶所需的負載范圍
BM-10高精密隔振平臺應用案例:
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