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Beam'R2狹縫掃描式光束質量分析儀

產品型號:Beam'R2

產品ID:S-BR2-Si

品牌名稱:美國Dataray

 

狹縫掃描式光束質量分析儀系統提供高分辨率,但是要求光束小于1μm且價格要高于相機型光束分析儀。盡管不能給出光束圖像,但是在很多情況下XY或XYZ就可以滿足應用要求。

 

產品特點:

 

· 190至1150 nm,Si探測器

· 650至1800 nm,InGaAs探測器

· 1000至2300或2500 nm,InGaAs(擴展)探測器

· 端口供電,USB2.0靈活的3米電纜沒有電源磚

· 0.1μm采樣和分辨率

· 線性和對數X-Y輪廓

· 輪廓縮放和狹縫寬度補償

· 經濟又準確

· M2選項 – 光束傳播分析、發散、聚焦

 

產品選擇:

 

 

Beam’R2

BeamMap2

主要特征

集成X和Y輪廓

實時 XYZθΦ 測量和焦點查找

實時指向、發散和M2 測量

接口

USB 2.0 Port-powered

CW or Pulsed?

CW,脈沖最小 PRR(Si 探測器)≈ [500/(激光直徑μm] kHz

波長

Si:190-1150 nm

InGaAs:650-1800 nm

Si+InGaAs:190-1800nm

Si+InGaAs,extended:190-2500nm

X-Y-Z Profiles, plus Θ-Φ

N/A


最佳分辨率

0.1 μm

最小光束

2 μm (Knife Edge mode)

更新率

5 Hz real-time (adjustable 2-10 Hz)

M2 測量

Yes - with M2DU-BR accessory

Yes - real-time

定位焦點

Yes - with M2DU-BR accessory

Yes - real-time

指向/發散

Yes - with M2DU-BR accessory

Yes - real-time

開關增益(選項 dB)

32 dB

 

參數

參數值

BeamMap2

Beam'R2

Comments

波長可選范圍(nm)

190-1150, 650-1800, 190-1800, 190-2500

Yes

Yes

Si, InGaAs, Si + InGaAs,

被掃描光束直徑

2 μm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X)

Yes

Yes

Si + InGaAs, extended

X-Y 輪廓及中心分辨率:

0.1 μm 或者 0.05% 的掃描范圍

Yes

Yes

 

精度:

± <2% ± ≤0.5μm

Yes

Yes

 

CW or Pulsed

連續/脈沖 最小PRR ≈ [500/(激光直徑μm)]kHz

Yes

Yes

 

光束對準準直

± 1 mrad with BeamMap2 ColliMate

Yes

-

 

M2 測量

1 to >20, ± 5%

Yes

-

Beam Dependent

實時更新

5 Hz

Yes

Yes

4 Z-plane hyperbolic fit

最大功率&輻照度

1 W Total & 0.3 mW/μm2

Yes

Yes

Adjustable 2-12 Hz

增益范圍:

32dB

Yes

Yes

Metallic film on Sapphire slits

 


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