產品型號：ATLEX-500-L
品牌名稱：德國ATL Lasertechnik
產品特點：
· TMC（全金屬陶瓷）管路
· 電暈預電離
· 固態開關
· 延長動態和靜態氣體壽命（數月）
· 激光頭容積6 L
· 全部風冷
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 集成4閥系統，便于氣體處理
· 能量穩定模式
· 符合歐洲CE標準，符合RoHS規范
· 模塊化設計/服務友好
產品參數：
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ATLEX-500-L產品參數
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氣體介質
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ArF
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KrF
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單位
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波長
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193
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248
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nm
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高壓開關技術
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固態開關
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最大脈沖能量1
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10
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15
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mJ
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最大平均功率
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4.0
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6.5
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W
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最大重復頻率
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500
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Hz
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脈沖寬度2
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5 – 8
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ns
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光束尺寸2(V x H)
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6 x 4
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mm
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光束發散角2(V x H)
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2 x 1
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mrad
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能量穩定性（標準偏差）
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< 2
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%
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尺寸（長x寬x高）
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600 x 415 x 567
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mm
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重量
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70
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kg
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冷卻
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Cooling Air / Optional Liquid
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電力需求
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230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz
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所有規格均為典型數據，如有因產品改進而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重復頻率情況下測得： 應用能量穩定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM
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