產品型號：ATLEX-S
品牌名稱：德國ATL Lasertechnik
ATLEX-S系列激光器是一款非常緊湊的紫外光源，設計用于低、中占空比的OEM應用。
產品特點：
· 超緊湊的尺寸
· 超快電暈預電離技術
· HV-固態脈沖發生器
· 激光腔體<3L
· 全新技術的金屬陶瓷腔
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風冷，溫度控制
· 系統集成RS485，RS232，USB和FOC接口
· 方便清洗的光學鏡架
· 能量穩定模式
· 符合歐洲CE標準
· RoHS認證
產品應用：
· 光譜學
· 微加工
· 測試和測量
產品參數：
|
ATLEX-S產品參數
|
|
氣體介質
|
ArF
|
KrF
|
單位
|
|
波長
|
193
|
248
|
nm
|
|
高壓開關技術
|
固態開關
|
固態開關
|
|
|
最大重復頻率
|
300
|
500
|
300
|
500
|
Hz
|
|
最大脈沖能量1
|
10
|
10
|
15
|
15
|
mJ
|
|
最大平均功率
|
2,4
|
4
|
4
|
6
|
W
|
|
脈沖寬度2
|
5 – 8
|
ns
|
|
光束尺寸2(V x H)
|
4 x 6
|
mm
|
|
光束發散角2(V x H)
|
1 x 2
|
mrad
|
|
能量穩定性（標準偏差）
|
< 3
|
%
|
|
尺寸（長x寬x高）
|
630 x 400 x 300
|
mm
|
|
重量
|
65
|
kg
|
|
冷卻
|
Air
|
|
|
電力需求
|
230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
|
|
所有規格均為典型數據，如有因產品改進而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重復頻率情況下測得： 應用能量穩定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM
|
